氟气生成方法 氟气发生装置结构制造技术【小套】
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1 氟气发生装置
2 去除硅胶回收氟气的方法及其装置
3 氟气发生器
4 具有使用氟气的清洗装置的CVD设备以及在CVD设备中使用氟气的清洗方法
5 用于产生和供应氟气的设备
6 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法
7 氟气发生装置
8 生产氟气的方法
9 氟气发生装置
10 氟气生成装置
11 氟气生成装置
12 氟气生成装置
13 用于使用全氟气体混合物的肺活体内磁共振成像的系统、方法、组成和设备
14 一种氟气的提纯方法
15 利用光声光谱法检测硫酰氟气体残留浓度的方法
16 以氟气内循环制备氟化石墨或氟化碳的方法
17 四氟气门油封
18 一种热交换器的氟气分接头
19 电解氟化锂一氟化氢制备氟气的装置
20 氟气发生装置
21 氟气产生装置及其电解液液面控制的方法
22 氟气发生装置
23 用于半导体工作室的氟气热活化
24 氟气发生装置
25 形成含(CFx</sub>)n</sub>的吸附剂组合物的方法、及其所用的中间材......
26 氟气的提纯方法
27 一种有机氟残液中制取氟气的方法
28 电解氟化钾一氟化氢制备氟气的技术
29 一种采用氟气与熔融硫表面接触反应法生产六氟化硫的技术
30 一种无害化处理硫酰氟气体的方法
31 一种采用氟气与硫的蒸气反应法生产六氟化硫的技术
32 一种采用喷射式反应器
33 电解氟化锂一氟化氢制备氟气的技术
34 具有氟气发生装置的半导体制造设备
35 氟气生成装置
36 氟气生成装置
37 氟气的当场气体混合及稀释系统
38 一种氟气引发连续化生产短链全氟碘代烷的方法
39 采用氟气与熔融硫表面接触制备六氟化硫的方法
40 高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法
41 氟气生成装置
42 氟气生成装置
43 氟气生成装置
44 氟气生成装置
45 一种热交换器的氟气分接头
46 具有地震保护作用的氟气体设备
47 含氟气体工质回收用无油活塞压缩机
48 一种用于电解氟化氢制备氟气的碳板
49 聚四氟气动调节阀
50 聚四氟气动调节阀的阀体和上阀盖之间的密封装置
51 聚四氟气动调节阀用应力减缓组合件
52 节煤节柴的无烟尘防氟气化燃烧炉
53 制备氟气6000A的设备
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2、资料说明：资料都是国家专利文献原版全文内容，含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图（部分设备类有），以及发明人姓名、地址/邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。每一项专利文献的内容详略都是不同的，平均每一项4-10页，多的有几十页的。
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